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  • 精彩紛呈!MEMS與智能傳感器技術(shù)專場在鄭順利召開!

    2021-11-09 20:40:29 來源: 財訊網(wǎng)

11月1日,MEMS與智能傳感器技術(shù)專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權(quán)威學者,他們針對智能傳感器行業(yè)發(fā)展存在的突出問題及薄弱環(huán)節(jié),還有我國MEMS與智能傳感器技術(shù)的核心競爭力進行了深度探討。

會議現(xiàn)場照片

本次會議由中國科學技術(shù)協(xié)會、河南省人民政府作為主辦單位,中國儀器儀表學會、河南省工業(yè)和信息化廳、智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟、智能微系統(tǒng)教育部重點實驗室、北京未來芯片技術(shù)高精尖創(chuàng)新中心、清華大學微米納米技術(shù)研究中心承辦,鄭州市工業(yè)和信息化局、鄭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會、漢威科技集團股份有限公司協(xié)辦。

清華大學精儀系副系主任、研究員張高飛主持

加拿大工程院院士、加拿大西安大略大學機械工程、材料工程及生物醫(yī)學工程專業(yè)教授楊軍通過視頻致辭

河南省工業(yè)和信息化廳總經(jīng)濟師毛鄭建致辭

中科院上海微系統(tǒng)所研究員,重點實驗室副主任·李鐵

中科院上海微系統(tǒng)所研究員,重點實驗室副主任李鐵作了《仿生生物微納傳感器》主題報告。他首先介紹了仿生生物微納傳感器的研究背景,并且以蜘蛛為例,講述了狹縫傳感器的研發(fā)經(jīng)過,指出仿生感知技術(shù)進入微納、分子尺度階段,并且涉及到了仿生學、材料學、傳感器、微電子、計算機、人工智能、無線通信等學科技術(shù)領(lǐng)域。報告中主要介紹了仿生嗅覺傳感器的硅納米線材料,還分享了嗅覺生物敏感材料的選擇方法、仿生光探測器機理及檢測原理、石墨烯探測器的檢測方法,報告內(nèi)容環(huán)環(huán)相扣,全面清晰。

國防科技大學,智能科學學院教授·肖定邦

國防科技大學,智能科學學院教授肖定邦先生作了《高性能微機電陀螺研究進展》主題報告。由于疫情原因,肖教授本人無法到場,但是他的線上分享也可謂是精彩絕倫,他先講述了國外高性能微機電陀螺的研究進展情況,接下來就是核心內(nèi)容蜂巢式微機電陀螺研究內(nèi)容,報告中分享了蜂巢式MEMS敏感結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢、微半球諧振陀螺研究的結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計和加工工藝創(chuàng)新,最后肖教授展示了微機電陀螺技術(shù)的發(fā)展趨勢圖,說明了微機電陀螺技術(shù)可能向環(huán)形、半環(huán)形發(fā)展的方向。

清華大學副教授·趙曉光

清華大學副教授趙曉光先生作了《基于超材料的微機電傳感器》主題報告。他先對超材料微機電的背景進行介紹,介紹中說到了超材料的單元結(jié)構(gòu)設(shè)計及應(yīng)用,他指出超材料對電磁場進場和光的調(diào)控,在醫(yī)學成像中的應(yīng)用有實際意義,并且指出量子學的進展也啟發(fā)了超材料發(fā)展的進展。報告中還分享了超材料mems傳感器的工作原理,介紹了基于超材料的太赫茲探測器、基于雙層超表面的mem太赫茲調(diào)控器、單元結(jié)構(gòu)獨立可調(diào)的超材料、基于連續(xù)區(qū)束縛態(tài)的超高Q值、基于非線性超材料的非線性隔離器、智慧型超材料、可變性超材料,在報告最后,他還說到,超材料是一個比較新的概念、超材料模糊了材料與器械的邊界,mems與超材料的結(jié)合支撐微系統(tǒng)及傳感器相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。

東南大學教授,實驗室常務(wù)副主任·周再發(fā)

東南大學教授,實驗室常務(wù)副主任周再發(fā)先生作了《面向MEMS制造的薄膜材料和工藝參數(shù)在線測試技術(shù)》主題報告。他的報告主要從電學、熱學、力學三個方面介紹了薄膜材料和工藝參數(shù)的測試內(nèi)容,并且介紹了薄膜材料和工藝參數(shù)在線測試的兩種方法,報告結(jié)尾詳細闡述了二氧化硅薄膜介電伸縮系統(tǒng)測試方法及壓力傳感器設(shè)計的應(yīng)用,這些內(nèi)容對實際生產(chǎn)及應(yīng)用都有很重要,而現(xiàn)場針對周教授的講解也提出問題,周教授的回答給出了滿意的答復。

重慶大學教授·溫泉

重慶大學溫泉教授作了《微型集成掃描光柵微鏡發(fā)展與應(yīng)用》主題報告。報告首先講述的是微光學器件的發(fā)展歷史及應(yīng)用,簡單介紹了三種類型的光學器件,重點介紹了集成掃描光柵微鏡系統(tǒng),通過國外案例介紹集成掃描光柵微鏡系統(tǒng)發(fā)展過程中存在的問題以及集成掃描光柵微鏡系統(tǒng)的階段性進展與成果,溫教授介紹到微型集成掃描光柵微鏡具有體積小、低耗能、低成本的優(yōu)勢,報告最后介紹了潛在應(yīng)用,主要分享了高光譜成像的應(yīng)用,溫教授還總結(jié)說到微型集成掃描光柵微鏡是現(xiàn)代光譜分析檢測設(shè)備新形勢核心公共部件。

漢威科技集團傳感器研究院副院長·劉建鋼

漢威科技集團傳感器研究院副院長劉建鋼先生作了《傳感器列陣及智能傳感器發(fā)展與應(yīng)用》主題報告。他指出傳感器的發(fā)展速度已經(jīng)遠高于世界發(fā)展速度,詳細分析了當下傳感器的行業(yè)現(xiàn)狀,介紹了傳感器的分類方式及發(fā)展方向,指出智能最為熱點。報告中展示了漢威集團的智能氣體傳感器成果、智能光學傳感器成果及環(huán)境溫濕度成果,最后,劉副院長對漢威集團公司簡介、發(fā)展歷程進行了簡短的介紹。

此次會議的成功召開,首先有利于突破相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸和體制約束,其次有利于提升我國MEMS與智能傳感器產(chǎn)業(yè)技術(shù)的核心競爭力,還有利于促進企業(yè)、高等院校和科研院所在戰(zhàn)略層面有效結(jié)合,進而促進學術(shù)界與企業(yè)界的深度合作,最后有利于推進基礎(chǔ)研究的成果轉(zhuǎn)化,建立并完善我國傳感器領(lǐng)域的創(chuàng)新體系。這次會議讓更多的企業(yè)家和研究人員在今后的道路上堅定了信心,認清了方向。

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